Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
STANDARD published on 1.9.2016
Designation standards: ČSN EN 62047-1-ed.2
Classification mark: 358775
Catalog number: 500696
Publication date standards: 1.9.2016
The number of pages: 32
Approximate weight : 96 g (0.21 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN
Tato část IEC 62047 definuje termíny pro mikroelektromechanické součástky včetně procesu výroby těchto součástek