Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures
STANDARD published on 1.10.2012
Designation standards: ČSN EN 62047-13
Classification mark: 358775
Catalog number: 91587
Publication date standards: 1.10.2012
The number of pages: 28
Approximate weight : 84 g (0.19 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN
Tato norma popisuje metody zkoušení adheze mezi mikročásticemi a podložkou za použití vzorků sloup-covitého tvaru. Norma může být použita pro měření adhezní pevnosti mikrostruktur, které se realizují na substrátu, který má šířku a výšku od 1 _m do 1 mm. Norma určuje zkušební metody pro stanovení soudržnosti mikroelementů kvůli tomu, aby bylo možno optimálně stanovit výběr materiálů a výrobní podmínky pro MEMS zařízení. Norma nestanovuje a neomezuje použitý typ a velikost zkoušeného materiálu, velikost a výkon měřicího zařízení, z toho důvodu, že není jednoznačně definována velikost MEMS vzorků a zkušebního zařízení