ČSN EN 62047-21 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials

STANDARD published on 1.4.2015

English (the title page in Czech only) -
Print design (14.40 USD)

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-21
Classification mark: 358775
Catalog number: 97102
Publication date standards: 1.4.2015
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN

Annotation of standard text ČSN EN 62047-21 (358775):

Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 _m