Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
STANDARD published on 1.8.2016
Designation standards: ČSN EN 62047-26
Classification mark: 358775
Catalog number: 500478
Publication date standards: 1.8.2016
The number of pages: 40
Approximate weight : 120 g (0.26 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN
Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS