Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
STANDARD published on 1.6.2015
: ČSN EN ISO 25178-603
: 014451
: 96307
: 1.6.2015
: 40
: 120 g (0.26 )
:
Category: Technical standards ČSN
Tato část ISO 25178 popisuje metrologické charakteristiky interferometrického fázového posunu (PSI) a mikroskopů měřicích texturu povrchu plochy