
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters.
STANDARD published on 1.10.1995
Designation standards: DIN 50452-3:1995-10
Note: WITHDRAWN
Publication date standards: 1.10.1995
The number of pages: 6
Approximate weight : 18 g (0.04 lbs)
Country: German technical standard
Category: Technical standards DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 3: Kalibrierung von optischen Durchflußpartikelzählern.