DIN EN 62047-12:2012-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures.

STANDARD published on 1.6.2012

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The information about the standard:

Designation standards: DIN EN 62047-12:2012-06
Publication date standards: 1.6.2012
The number of pages: 31
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Country: German technical standard
Category: Technical standards DIN

Annotation of standard text DIN EN 62047-12:2012-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.