
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA).
STANDARD published on 1.9.2022
Designation standards: DIN ISO 15632:2022-09
Publication date standards: 1.9.2022
The number of pages: 21
Approximate weight : 63 g (0.14 lbs)
Country: German technical standard
Category: Technical standards DIN
Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) für die Anwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA).