Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO 25178-603:2025)
STANDARD published on 1.9.2025
Designation standards: ÖNORM EN ISO 25178-603
Publication date standards: 1.9.2025
The number of pages: 31
Approximate weight : 93 g (0.21 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Category: Technical standards ÖNORM
Dieses Dokument beschreibt die Konstruktionsmerkmale und die messtechnischen Merkmale von Geräten für die phasenschiebende Interferometrie (PSI) zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Daten der flächenhaften Oberflächentopografie extrahiert werden können, sind die in diesem Dokument beschriebenen Verfahren auch auf Profilierungsmessungen anwendbar.