Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 10: Tlaková skúška mikropodpier pre materiály MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
STANDARD published on 1.12.2011
Designation standards: STN EN 62047-10
Classification mark: 358792
Catalog number: 114467
Publication date standards: 1.12.2011
Approximate weight : 21 g (0.05 lbs)
Country: Slovak technical standard
Category: Technical standards STN