Polovodičové súčiastky. Elektromechanické mikrosúčiastky. Časť 12: Skúšobné metódy tenkovrstvových materiálov na namáhanie ohýbaním s využitím rezonančnej vibrácie štruktúr MEMS (Norma na priame používanie ako STN).
STANDARD published on 1.3.2012
Designation standards: STN EN 62047-12
Classification mark: 358792
Catalog number: 114772
Publication date standards: 1.3.2012
Approximate weight : 36 g (0.08 lbs)
Country: Slovak technical standard
Category: Technical standards STN