Production equipment for microsystems - System for classification of components for microsystems.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Klassifizierungssystem für Mikrobauteile.)

Standard published on 1.3.2002

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik.)

Standard published on 1.5.2004

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung.)

Standard published on 1.5.2004

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 3: Handling, storage and transport.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 3: Handhabung, Lagerung und Transport.)

Standard published on 1.5.2004

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.)

Standard published on 1.12.2007

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse.)

Standard published on 1.6.2015

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren.)

Standard published on 1.10.2014

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte.)

Standard published on 1.5.2025

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren.)

Standard published on 1.6.2015

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices.
(Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten für optische Messgeräte.)

Standard published on 1.6.2015