ČSN EN 62047-18 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials



STANDARD published on 1.4.2014


Language
Format
AvailabilityIN STOCK
Price16.00 USD excl. VAT
16.00 USD

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-18
Classification mark: 358775
Catalog number: 95059
Publication date standards: 1.4.2014
SKU: NS-161582
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN

The category - similar standards:

Other semiconductor devices

Annotation of standard text ČSN EN 62047-18 (358775):

Tato norma stanovuje metody pro zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů s délkou a šířkou méně jak 1 mm a tloušťkou mezi 0,1 _m až 10 _m. Tyto tenkovrstvé prvky jsou používány jako hlavní konstrukční materiály pro mikroelektromechanické systémy (v tomto dokumentu MEMS) a mikrostroje.

Hlavní konstrukční materiály pro MEMS, mikrostroje aj. mají speciální vlastnosti, jako jsou velikost několik mikrometrů, jsou vyráběny nanášením, fotolitografií a/nebo nemechanickým obráběním. Tato norma definuje zkoušku ohybem a zkoušku tvaru pro jemné mikročásticové zkušební vzorky tvaru nosníku, které umožňují zajistit přesnost, která je vyžadována ve speciálních případech

We recommend:

Updating of laws

Do you want to be sure about the validity of used regulations?
We offer you a solution so that you could use valid and updated legislative regulations.
Would you like to get more information? Look at this page.




Cookies Cookies

We need your consent to use the individual data so that you can see information about your interests, among other things. Click "OK" to give your consent.

You can refuse consent here.

Here you can customize your cookie settings according to your preferences.

We need your consent to use the individual data so that you can see information about your interests, among other things.