Standard ČSN EN 62047-2 1.5.2007 preview

ČSN EN 62047-2 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials



STANDARD published on 1.5.2007


Language
Format
AvailabilityIN STOCK
Price15.10 USD excl. VAT
15.10 USD

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-2
Classification mark: 358775
Catalog number: 78594
Publication date standards: 1.5.2007
SKU: NS-161584
The number of pages: 32
Approximate weight : 96 g (0.21 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN

The category - similar standards:

Other semiconductor devices

Annotation of standard text ČSN EN 62047-2 (358775):

Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek. Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům. Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC

We recommend:

Technical standards updating

Do you want to make sure you use only the valid technical standards?
We can offer you a solution which will provide you a monthly overview concerning the updating of standards which you use.

Would you like to know more? Look at this page.


This website uses cookie files. By browsing this website you expresses your consent with using cookies. More information / I understand