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ÖNORM EN ISO 14644-14
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
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STANDARD published on 15.2.2017
The information about the standard:
Designation standards: ÖNORM EN ISO 14644-14
Publication date standards: 15.2.2017
SKU: NS-775099
The number of pages: 29
Approximate weight : 87 g (0.19 lbs)
Country: Austrian technische Norm
Category: Technical standards ÖNORM
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Annotation of standard text ÖNORM EN ISO 14644-14 :
Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). Die folgenden Aspekte sind nicht durch diesen Teil von ISO 14644 abgedeckt: - Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; - Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; - Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien; - Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien; - physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); - Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen; - Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung; - Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.
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